CHOTEST中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維輪廓儀通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,，是一款對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器,，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量,。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求，SuperViewW1白光干涉三維輪廓儀復(fù)合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域,。

高速掃描的FVSI重建算法

EPSI重建算法

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

大尺寸樣品_拼接測量

【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm,，也可以測到更小的尺寸,，XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級別,，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別,，因此可測非常微小尺寸的器件,；

【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,，可達(dá)0.1um；

性能參數(shù)

性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性,；

2、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊,，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,，在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測,、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉儀具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。